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题名基于视觉辐条图案识别方法的蓝宝石引晶机制研究
被引量:3
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作者
陈晨
乔铁柱
庞宇松
郝贵荣
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机构
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室
太原理工大学物理与光电工程学院
代尔夫特理工大学机械海运与材料工程学院
山西中聚晶科半导体有限公司
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出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022年第2期256-262,共7页
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基金
国家自然科学基金(U1810121)
山西省中央引导地方科技发展资金项目(YDZX20201400001796)。
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文摘
工业生产蓝宝石晶体过程中,引晶步骤有着至关重要的地位。引晶必须在温度梯度较小,温度分布趋于稳定的条件下进行。目前,工业生产蓝宝石主要依靠人工经验操控籽晶杆实现引晶操作,但是人工引晶操作的准确性不高会导致成品品质不佳、资源浪费。为此,本文提出一种基于蓝宝石视觉辐条图案识别方法来检测蓝宝石熔体状态自由液面状态,从而实现一种高效率引晶的机制。此方法利用经典骨架化算法细化辐条图案,Harris算子实现特征信息的提取,提取的特征信息放入运动轨迹模型中判断熔体稳定性,分析液面温度分布稳定性从而实现引晶。结果表明,此算法具有有效性,蓝宝石晶体引晶效率大大提高,生产出的成品良率也有提升,可有效指导蓝宝石的工业生产。
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关键词
蓝宝石
引晶
温度梯度
辐条图案
图案识别
运动轨迹
骨架化算法
特征信息
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Keywords
sapphire
seeding
temperature gradient
spoke pattern
pattern recognition
motion trace
skeletonization algorithm
feature information
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分类号
O786
[理学—晶体学]
TP391.4
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于辐条视觉特征感知的蓝宝石接种检测方法
被引量:1
- 2
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作者
陈晨
乔铁柱
庞宇松
郝贵荣
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机构
太原理工大学新型传感器与智能控制教育重点实验室
代尔夫特理工大学机械海运与材料工程学院
山西中聚晶科半导体有限公司
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出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2022年第5期60-64,共5页
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基金
国家自然科学基金(No.U1810121)
山西省中央引导地方科技发展资金项目(No.YDZX20201400001796)。
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文摘
针对现阶段蓝宝石晶体生产过程中引晶操作主要依靠人工经验完成,引晶过程时间过长且准确度低的问题,提出了一种基于辐条视觉特征感知的蓝宝石籽晶接种检测方法。此方法使用了量化辐条图案运动轨迹收敛程度的模型,基于运动轨迹收敛模型对辐条图案特征点进行验证分析,将符合收敛条件的熔体稳定状态图像创建图像数据库;然后将实时采集到的图像与数据库中图像进行匹配检测,实现对熔体稳定状态图像的实时准确识别。通过实验对所提出方法的精度进行验证并与实际生产的效果进行对比,实验表明该方法能够满足实际工业生产,其中引晶状态识别准确率达到98.9%,成品良率相比人工引晶提高了28%。
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关键词
引晶
辐条图案
运动轨迹
模板匹配
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Keywords
seeding
spoke pattern
motion trace
template matching
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分类号
TN911
[电子电信—通信与信息系统]
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