MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器 被引量：1

1

作者 毛超民 王政平 +1 位作者 王冰 任峰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期178-179,198,共3页

文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽... 文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。 展开更多

关键词 微机械加工技术 硅压阻 智能校准补偿技术 汽车压力传感器

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硅压阻式传感器智能数字补偿系统 被引量：9

2

作者 闫超 李宗醒 +3 位作者 毛超民 丁建宁 程广贵 袁宁一 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第11期10-12,共3页

为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度,利用传感器高精度智能修补芯片ZMD31050,开发出一套智能化数字补偿系统,将传感器及其外围器件抽象为数学多项式,通过多项式拟合来消除误差,介绍了该系统的硬件组成,通信协议和软件设计。实验结果... 为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度,利用传感器高精度智能修补芯片ZMD31050,开发出一套智能化数字补偿系统,将传感器及其外围器件抽象为数学多项式,通过多项式拟合来消除误差,介绍了该系统的硬件组成,通信协议和软件设计。实验结果表明,该系统数据传输稳定,生产效率高,可满足硅压阻式传感器小批量智能修补。 展开更多

关键词 ZMD31050 数字补偿系统 LABWINDOWS/CVI

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硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法 被引量：16

3

作者 蒋小燕 徐大诚 +2 位作者 杨成 谢维钦 王文襄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第1期76-78,84,共4页

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精... 利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 信号调理 软件补偿

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MEMS压力传感器在电阻点焊压力测试中的应用 被引量：4

4

作者 王锋 宋永伦 +1 位作者 张军 王文襄 《焊接》 北大核心 2008年第2期38-40,共3页

针对目前航天焊接生产中压力信号测量问题,采用MEMS压力传感器代替原有的压电式压力传感器采集点焊电极压力信号。实验证明,与常用的压电式压力传感器相比,根据点焊电极压力特点专门制造的MEMS微机械压力传感器排除了点焊机械结构的影响... 针对目前航天焊接生产中压力信号测量问题,采用MEMS压力传感器代替原有的压电式压力传感器采集点焊电极压力信号。实验证明,与常用的压电式压力传感器相比,根据点焊电极压力特点专门制造的MEMS微机械压力传感器排除了点焊机械结构的影响,分辨率更高,工作范围更大,有利于点焊缺陷的判别;可以获取完整的压力信号,从而预防点焊缺陷的产生。 展开更多

关键词 电阻点焊 微机械系统压力传感器 在线监测

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压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量 被引量：6

5

作者 郭宏 王冰 +1 位作者 庄家局 王文襄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第9期1-2,5,共3页

阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平... 阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。 展开更多

关键词 高频动态压力传感器 冲击波超压 齐平封装 固有频率 MEMS

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胶粘剂对MEMS压力传感器点焊压力测量的影响

6

作者 王锋 宋永伦 +1 位作者 张军 王文襄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第12期60-62,共3页

针对点焊过程压力监测的MEMS压力传感器的粘贴问题,采用不同种类的胶粘剂粘贴MEMS压力传感器,在自制的压力测试平台上模拟点焊电极压力对传感器进行了加压测试。测试结果表明:采用α—氰基丙烯酸酯系胶粘剂粘贴的MEMS压力传感器输出结... 针对点焊过程压力监测的MEMS压力传感器的粘贴问题,采用不同种类的胶粘剂粘贴MEMS压力传感器,在自制的压力测试平台上模拟点焊电极压力对传感器进行了加压测试。测试结果表明:采用α—氰基丙烯酸酯系胶粘剂粘贴的MEMS压力传感器输出结果优于环氧树脂系胶粘剂和酚醛树脂系胶粘剂粘贴的传感器的输出结果。造成不同胶粘剂粘贴传感器性能差别的主要原因在于胶粘层的弹性模量和厚度。 展开更多

关键词 胶粘剂 电阻点焊 微机电系统 压力传感器

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一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造 被引量：3

7

作者 尤彩红 张文栋 王文襄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第4期105-106,共2页

介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实... 介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。 展开更多

关键词 微差压传感器 微电子机械系统 无应力封装

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微型及超微型压力传感器的开发 被引量：4

8

作者 王冰 尤彩红 王文襄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期180-181,共2页

介绍了外径为Φ2 mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装。改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,科学测试及研究中,尤其在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减... 介绍了外径为Φ2 mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装。改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,科学测试及研究中,尤其在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化。 展开更多

关键词 超微型 原位测量 微电子机械技术

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燃油蒸汽压力传感器的封装研究

9

作者 杜奋豪 王冰 +3 位作者 薛立伟 刘雨墨 张雯霞 陈立国 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第8期15-19,共5页

为了实现面向汽车燃油蒸汽压力检测的压阻式微压传感器封装,应对其油污、振动的使用环境,减小封装结构应力对压敏芯片的影响,采用芯片背面承压,与电路集成在一块陶瓷基板上,再同塑料外壳组装成完整传感器的封装方式。通过仿真软件辅助设... 为了实现面向汽车燃油蒸汽压力检测的压阻式微压传感器封装,应对其油污、振动的使用环境,减小封装结构应力对压敏芯片的影响,采用芯片背面承压,与电路集成在一块陶瓷基板上,再同塑料外壳组装成完整传感器的封装方式。通过仿真软件辅助设计,研究了贴片胶、外壳以及基板对压敏芯片的影响,确定了最优封装结构和参数,封装样品经过测试全温区最大误差约为1.2%FS,满足使用需求,通过这种封装方式降低了传感器的尺寸和成本。 展开更多

关键词 燃油蒸汽 压阻式压力传感器 有限元仿真 传感器封装

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CYG600高温压力传感器

10

《传感器世界》 2007年第5期50-51,共2页

普通的压阻式压力传感器其敏感控测惠斯顿全桥的四个力敏电阻是用集成电路工艺制造的，电阻间用P．N结相互隔离。由于受到P．N结耐温限制，最高使用温度仅125℃，

关键词 高温压力传感器 压阻式压力传感器 最高使用温度 力敏电阻 工艺制造 集成电路 全桥 敏感

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建筑物健康诊断两种风荷载传感器的设计与应用

11

作者 王冰 王文襄 《传感器世界》 2012年第9期17-20,共4页

介绍了建筑物风工程研究用的两种风荷载传感器。一种是采用MEMS技术的梁膜岛复合力敏结构压阻微差压敏感元件,用准齐平无应力微封装,适用于建筑物缩模风洞试验测试用的风荷载动态微型微压传感器。另一种是采用MEMS梁膜复合结构力敏芯片... 介绍了建筑物风工程研究用的两种风荷载传感器。一种是采用MEMS技术的梁膜岛复合力敏结构压阻微差压敏感元件,用准齐平无应力微封装,适用于建筑物缩模风洞试验测试用的风荷载动态微型微压传感器。另一种是采用MEMS梁膜复合结构力敏芯片,考虑了减小雨水张力影响及冲击载荷伴生的振动影响及防雷保护而封装的复合风雨荷载,现场实测用的风荷载传感器,它们均在实验和应用中取得良好的应用效果。 展开更多

关键词 风荷载传感器 动态微压 风雨复合荷载 复合梁膜岛力敏结构 复合梁膜结构 抗雷击

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建筑物健康诊断两种风荷载传感器的设计与应用

12

作者 王冰 王文襄 《计测技术》 2012年第S1期100-102,113,共4页

介绍了建筑物风工程研究用的两种风荷载传感器。一种是采用MEMS技术的梁膜岛复合力敏结构压阻微差压敏感元件,用准齐平无应力微封装,适用于建筑物缩模风洞试验测试用的风荷载动态微型微压传感器。另一种是采用MEMS梁膜复合结构力敏芯片... 介绍了建筑物风工程研究用的两种风荷载传感器。一种是采用MEMS技术的梁膜岛复合力敏结构压阻微差压敏感元件,用准齐平无应力微封装,适用于建筑物缩模风洞试验测试用的风荷载动态微型微压传感器。另一种是采用MEMS梁膜复合结构力敏芯片,考虑了减小雨水张力影响及冲击载荷伴生的振动影响及防雷保护而封装的复合风雨荷载,现场实测用的风荷载传感器,它们均在实验和应用中取得良好的应用效果。 展开更多

关键词 风荷载传感器 动态微压 风雨复合荷载 复合梁膜岛力敏结构 复合梁膜结构 抗雷击

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压阻式高频动态高压传感器设计

13

作者 尤彩红 王冰 +1 位作者 庄家局 王文襄 《计测技术》 2009年第B09期44-45,共2页

阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率，刚性键合及低桥阻确保了亚微秒级的上升时间，背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的... 阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率，刚性键合及低桥阻确保了亚微秒级的上升时间，背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。 展开更多

关键词 高频动态 齐平封装 固有频率

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微型及超微型压力传感器的开发

14

作者 王冰 尤彩红 王文襄 《计测技术》 2009年第B09期29-30,共2页

介绍了外径为02mm的超微型压力传感器芯片设计与结构封装。该微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学，在高精度的流体动力学测试中，如风洞测试系统中，要求传感器不仅具有良好的动态特性，而且为了减少对测量流场的影响，提高... 介绍了外径为02mm的超微型压力传感器芯片设计与结构封装。该微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学，在高精度的流体动力学测试中，如风洞测试系统中，要求传感器不仅具有良好的动态特性，而且为了减少对测量流场的影响，提高测量的精度，对传感器的尺寸要求更加小型化。 展开更多

关键词 超微型 原位测量 微电子机械技术

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温阶环境下基于桥压测温的压力传感器温度补偿

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作者 潘岚青 程新利 +1 位作者 王冰 谢南南 《仪表技术与传感器》 2025年第3期15-19,共5页

为了克服压阻式压力传感器在温度分布不均匀环境中温度补偿效果差、压力测量精度低的问题,设计使用惠斯登电桥的桥臂电压测量力敏结构的实际温度,提高传感器温度补偿效果和测量精度。实验采用对比法,实验组和对照组采用相同型号的压力... 为了克服压阻式压力传感器在温度分布不均匀环境中温度补偿效果差、压力测量精度低的问题,设计使用惠斯登电桥的桥臂电压测量力敏结构的实际温度,提高传感器温度补偿效果和测量精度。实验采用对比法,实验组和对照组采用相同型号的压力传感器、处理硬件电路、温度补偿算法及补偿温度点,但分别使用Pt1000与桥压测温2种方式进行传感器温度系数补偿。实验发现:高低温实验箱稳态温度环境下,2种方式压力测量精度接近;但在温度变化及温阶环境下,采用Pt1000测温补偿方式的传感器精度出现较大波动,而采用桥压测温补偿方式的传感器精度基本不受影响。实验证明:在复杂温度变化环境下,使用桥压测温补偿方式可以有效保障压力传感器测量精度。 展开更多

关键词 桥压测温 温度补偿 硅压阻式压力传感器 温阶

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基于Super-ZigBee的高大建筑物台风监测系统 被引量：4

16

作者 李宗醒 闫超 +2 位作者 丁建宁 毛超民 王冰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第10期44-45,55,共3页

基于Super-ZigBee技术设计了一种应用于高大建筑物台风监测的无线传感器网络系统,系统采用CC2530芯片作为无线传输系统的核心,结合专用的风荷载传感器,实现了低功耗、实时采集传输、自组织的功能,解决了传统高大建筑物监测环境中布线供... 基于Super-ZigBee技术设计了一种应用于高大建筑物台风监测的无线传感器网络系统,系统采用CC2530芯片作为无线传输系统的核心,结合专用的风荷载传感器,实现了低功耗、实时采集传输、自组织的功能,解决了传统高大建筑物监测环境中布线供电困难,改善了常规ZigBee网络的实时性差和通信距离短的缺陷。实验表明,系统具有良好的实时性,网络通信稳定可靠。 展开更多

关键词 ZIGBEE 台风监测 CC2530 无线传感器网络 风荷载传感器

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瑞红RZJ-304光刻胶光刻工艺研究 被引量：3

17

作者 庞梦瑶 程新利 +3 位作者 秦长发 沈娇艳 唐运海 王冰 《苏州科技学院学报（自然科学版）》 CAS 2015年第3期20-24,42,共6页

利用光刻技术对瑞红RZJ-304正性光刻胶进行光刻工艺研究,用透射式光栅作为掩模版,通过改变光刻步骤中的前烘时间、曝光时间、显影时间等来研究光刻效果。实验结果表明,掩模版图形被成功地转移到了硅片基底上,显影后光刻胶厚度均匀,光刻... 利用光刻技术对瑞红RZJ-304正性光刻胶进行光刻工艺研究,用透射式光栅作为掩模版,通过改变光刻步骤中的前烘时间、曝光时间、显影时间等来研究光刻效果。实验结果表明,掩模版图形被成功地转移到了硅片基底上,显影后光刻胶厚度均匀,光刻胶线条呈周期性排列,得到了与掩模版尺寸一致的图形。这说明得到了适合RZJ-304光刻胶的光刻工艺。 展开更多

关键词 RZJ-304光刻胶 光刻技术 光栅掩模版

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频率输出压力变送器

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《传感器世界》 2006年第10期50-50,共1页

双桥公司最新推出具有高性价比的频率输出压力变送器。该系列产品是基于当前先进的硅微机械加工技术生产的压阻力敏元件。结合目前最先进的信号调理技术，内部集成了输出零点／满量程校正、放大、温度补偿等功能。有着很强的介质兼容性... 双桥公司最新推出具有高性价比的频率输出压力变送器。该系列产品是基于当前先进的硅微机械加工技术生产的压阻力敏元件。结合目前最先进的信号调理技术，内部集成了输出零点／满量程校正、放大、温度补偿等功能。有着很强的介质兼容性，适应于对316L不锈钢兼容的任何气、液体介质的压力测量。 展开更多

关键词 压力变送器 频率输出 硅微机械加工技术 316L不锈钢 液体介质 高性价比 力敏元件 调理技术

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