电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种电子轰击型的数字化微光器件,低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发,以传感器阴极、阳极内部结构为着手点,阐述EBAPS从光信号输...电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种电子轰击型的数字化微光器件,低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发,以传感器阴极、阳极内部结构为着手点,阐述EBAPS从光信号输入到数字图像输出的工作过程,分析EBAPS光学系统的结构特点,结合Intevac公司系列EBAPS产品综述EBAPS的发展迭代与应用。最后,总结影响EBAPS传感器性能的各方面因素并展望器件的发展趋势。展开更多
文摘电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种电子轰击型的数字化微光器件,低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发,以传感器阴极、阳极内部结构为着手点,阐述EBAPS从光信号输入到数字图像输出的工作过程,分析EBAPS光学系统的结构特点,结合Intevac公司系列EBAPS产品综述EBAPS的发展迭代与应用。最后,总结影响EBAPS传感器性能的各方面因素并展望器件的发展趋势。
