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用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
被引量：
5
1
作者
许立梓
李传芳
+1 位作者
林文豪
郑锐生
《广东工业大学学报》
CAS
1999年第2期5-8,共4页
介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件．
关键词
计算机测量系统
Β射线
薄膜
厚度测试
在线测试
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职称材料
题名
用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
被引量：
5
1
作者
许立梓
李传芳
林文豪
郑锐生
机构
广东工业大学电气工程及自动化系
汕头
协华电脑
公司
汕头市凯达泓集团包装材料公司
出处
《广东工业大学学报》
CAS
1999年第2期5-8,共4页
文摘
介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件．
关键词
计算机测量系统
Β射线
薄膜
厚度测试
在线测试
Keywords
computer measuring system
β ray measure
measuring the thickness of the file
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
许立梓
李传芳
林文豪
郑锐生
《广东工业大学学报》
CAS
1999
5
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