期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到846篇文章
< 1 2 … 43 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
加强学科交叉 拓宽研究领域是国家重点实验室生存发展的关键 被引量：3
1
作者 汪雷 黄秀华 《实验室研究与探索》 CAS 2005年第10期92-93,97,共3页
随着对国家重点实验室管理实行优胜劣汰的严格管理,高校国家重点实验室如何面对机遇和挑战,是一个必须深思的问题。该文以硅材料国家重点实验室发展历程为实例,阐述加强学科交叉,拓宽研究领域是高校国家重点实验室生存和发展的根本保证。
关键词 国家重点实验室 学科交叉 领域拓宽
在线阅读 下载PDF
硅基一维纳米半导体材料的制备及光电性能 被引量：9
2
作者 杨德仁 牛俊杰 +6 位作者 张辉 王俊 杨青 余京 马向阳 沙健 阙端麟 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期31-40,共10页
硅基一维纳米半导体材料是新型的硅基光电子材料 ,在硅基光电集成和纳电子领域有重要的应用前景 .主要论述了硅基一维纳米半导体材料 (纳米硅线、纳米ZnO线 )的制备 ,着重一维纳米材料的阵列化制备 ,讨论了其生长机理 ,研究了硅基一维... 硅基一维纳米半导体材料是新型的硅基光电子材料 ,在硅基光电集成和纳电子领域有重要的应用前景 .主要论述了硅基一维纳米半导体材料 (纳米硅线、纳米ZnO线 )的制备 ,着重一维纳米材料的阵列化制备 ,讨论了其生长机理 ,研究了硅基一维纳米半导体材料的的光学、电学等物理性能 . 展开更多
关键词 硅基 纳米线 半导体 光电子材料
在线阅读 下载PDF
硅负极材料的储锂机理与电化学改性进展 被引量：8
3
作者 梁初 周罗挺 +4 位作者 夏阳 黄辉 陶新永 甘永平 张文魁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期8043-8049,共7页
硅作为锂离子电池负极材料具有极高的比容量,被认为是最有应用潜力的下一代锂离子电池负极候选材料。本文系统总结了硅负极材料的电化学储锂特性和储锂机理,分析了硅负极材料存在的主要问题及原因。针对存在的问题,从嵌脱锂过程硅材料... 硅作为锂离子电池负极材料具有极高的比容量,被认为是最有应用潜力的下一代锂离子电池负极候选材料。本文系统总结了硅负极材料的电化学储锂特性和储锂机理,分析了硅负极材料存在的主要问题及原因。针对存在的问题,从嵌脱锂过程硅材料粉化调控、稳定固体电解质界面膜(SEI膜)的构建和硅材料导电性调变3方面对硅负极材料的电化学改性进展进行了评述,并指出了硅负极储锂材料今后的研究方向。 展开更多
关键词 硅负极材料 储锂机理 粉化调控 稳定SEI膜 导电性
在线阅读 下载PDF
杂质对单晶硅材料硬度的作用 被引量：5
4
作者 李东升 杨德仁 阙端麟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期798-803,共6页
室温下使用维氏硬度计研究了硅单晶表面的接触损伤及硅单晶中杂质对表面损伤的影响 .实验发现 ,硅单晶的硬度不仅与晶体的本身特性——晶向有关 ,还与所掺入杂质的种类和浓度有关 .损伤造成的裂纹倾向于沿着〈1 1 0〉晶向扩展 ,而且 { 1... 室温下使用维氏硬度计研究了硅单晶表面的接触损伤及硅单晶中杂质对表面损伤的影响 .实验发现 ,硅单晶的硬度不仅与晶体的本身特性——晶向有关 ,还与所掺入杂质的种类和浓度有关 .损伤造成的裂纹倾向于沿着〈1 1 0〉晶向扩展 ,而且 { 1 1 1 }面上的硬度要大于 { 1 0 0 }面 .重掺 n型单晶由于能带结构的变化而使硬度下降 ;相反 ,重掺 展开更多
关键词 硬度 杂质 硅单晶 晶向 PACC 6170L 6170M 6170R
在线阅读 下载PDF
氮化硅薄膜对晶体硅材料和电池的钝化效果研究 被引量：3
5
作者 龚灿锋 杨德仁 +3 位作者 王晓泉 席珍强 汪雷 阙端麟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期613-616,共4页
利用等离子体增强化学气相沉积技术,在P型直拉单晶硅硅片和铸造多晶硅片以及太阳电池的表面上 沉积了非晶氮化硅(a-SiNx:H)薄膜,并研究了氮化硅薄膜对材料少子寿命和太阳电池性能的影响。研究发现: 氮化硅薄膜显著地提高了晶体硅材料中... 利用等离子体增强化学气相沉积技术,在P型直拉单晶硅硅片和铸造多晶硅片以及太阳电池的表面上 沉积了非晶氮化硅(a-SiNx:H)薄膜,并研究了氮化硅薄膜对材料少子寿命和太阳电池性能的影响。研究发现: 氮化硅薄膜显著地提高了晶体硅材料中少子寿命,同时多晶硅太阳电池的开路电压有少量提高,短路电流普遍 提高了1mA/cm2,电池效率提高了2％。实验结果表明:氮化硅薄膜不仅具有表面钝化作用,也有良好的体钝化 作用。 展开更多
关键词 硅 氮化硅 PECVD 太阳电池 少子寿命
在线阅读 下载PDF
单晶硅材料机械性能研究及进展 被引量：13
6
作者 李东升 杨德仁 阙端麟 《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期100-104,共5页
本文综述了硅材料的机械性能研究进展和相应的研究方法。利用高温拉伸、抗弯测试和显微压痕测试等研究手段 ,指出硅材料表面状况、位错和杂质是其机械性能的主要影响因素。表面损伤将降低硅单晶的拉伸屈服强度和抗弯强度 ;而位错的产生... 本文综述了硅材料的机械性能研究进展和相应的研究方法。利用高温拉伸、抗弯测试和显微压痕测试等研究手段 ,指出硅材料表面状况、位错和杂质是其机械性能的主要影响因素。表面损伤将降低硅单晶的拉伸屈服强度和抗弯强度 ;而位错的产生和滑移也可降低单晶的机械性能 ,但杂质对位错的钉扎将起到强化单晶机械性能的作用。 展开更多
关键词 单晶硅 机械性能 拉伸性能 硬度 抗弯强度
在线阅读 下载PDF
UHV/CVD生长锗硅材料的偏析现象 被引量：2
7
作者 吴贵斌 崔继锋 +1 位作者 黄靖云 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期161-163,共3页
本文对利用超高真空CVD方法生长的Si1 -xGex 合金外延层中的锗表面分布情况和Ge在界面偏析现象进行了深入的研究。通过XPS和SIMS图谱的研究 ,指出表面由于锗的偏析 ,造成锗在体内和表面的含量不同 ,在低温时生长锗硅合金 ,表面氢原子的... 本文对利用超高真空CVD方法生长的Si1 -xGex 合金外延层中的锗表面分布情况和Ge在界面偏析现象进行了深入的研究。通过XPS和SIMS图谱的研究 ,指出表面由于锗的偏析 ,造成锗在体内和表面的含量不同 ,在低温时生长锗硅合金 ,表面氢原子的吸附可有效地抑制锗的偏析 ,但随着温度的升高 。 展开更多
关键词 超高真空化学气相沉积法 锗硅合金 偏析现象 二次离子质谱仪 X射线光电子谱
在线阅读 下载PDF
深亚微米集成电路用硅单晶材料 被引量：3
8
作者 杨德仁 阙端麟 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第2期1-4,71,共5页
由于经济和技术的发展,深亚微米集成电路要求硅单晶材料向大直径和无(少)缺陷方向发展。综述了深亚微米集成电路用硅单晶材料的研究和发展,指出对于已开始应用的300毫米硅单晶而言,磁场拉晶、计算机模拟、线切割、双面抛光等工艺成为大... 由于经济和技术的发展,深亚微米集成电路要求硅单晶材料向大直径和无(少)缺陷方向发展。综述了深亚微米集成电路用硅单晶材料的研究和发展,指出对于已开始应用的300毫米硅单晶而言,磁场拉晶、计算机模拟、线切割、双面抛光等工艺成为大直径硅单晶研制的重要特征;利用晶体生长速率和固液界面的温度梯度的设计,硅单晶中的自间隙硅原子、空位以及相关的微缺陷可以被控制;通过快速热处理,引入和控制空位,进而控制氧沉淀的新型内吸杂技术,可以制备高质量的表面清洁区;利用氮杂质掺杂,可以抑制硅单晶中VOID缺陷和增加硅片的机械强度。最后,还讨论了硅单晶材料的今后的研究方向和趋势。 展开更多
关键词 集成电路 缺陷 金属杂质 半导体材料 氮 掺杂 控制技术 硅单晶
在线阅读 下载PDF
新颖的硅基光电材料 被引量：3
9
作者 叶志镇 黄靖云 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第1期11-13,共3页
光电集成是未来信息技术发展的重要方向之一,硅基光电集成具有巨大的应用前景,在硅基材料及集成方面源头创新空间很大。论述了新颖的硅基材料研究现状及应用前景。
关键词 光电集成 硅基光电材料 硅基异质结构
在线阅读 下载PDF
太阳电池用多晶硅材料的现状和发展 被引量：11
10
作者 杨德仁 《中国建设动态（阳光能源）》 2007年第1期36-39,共4页
国际太阳能光伏产业快速发展,造成了太阳电池原材料多晶硅在全球范围内的短缺,引起极大关注。本文简要描述了太阳电池用多晶硅原材料的基本制备原理,阐述了目前多晶硅材料的生产现状和发展情况。
关键词 多晶硅材料 制备技术 现状和发展
在线阅读 下载PDF
一维硅纳米材料的研究进展 被引量：3
11
作者 卢晓敏 汪雷 +1 位作者 杨青 杨德仁 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第9期72-75,共4页
作为微电子领域最重要的半导体材料,硅的一维纳米结构在器件组装、纳米尺寸磁性器件、光电子等领域具有重要的作用,已经成为国际上材料科学研究的一个热点。从制备方法、应用前景等方面综述了国际上关于纳米硅丝和纳米硅管的研究进展,... 作为微电子领域最重要的半导体材料,硅的一维纳米结构在器件组装、纳米尺寸磁性器件、光电子等领域具有重要的作用,已经成为国际上材料科学研究的一个热点。从制备方法、应用前景等方面综述了国际上关于纳米硅丝和纳米硅管的研究进展,并提出今后的研究方向。 展开更多
关键词 微电子 纳米硅 光电子 半导体材料 磁性器件 组装 纳米结构 研究进展 国际 综述
在线阅读 下载PDF
钙钛矿/晶硅叠层太阳电池关键材料与技术研究进展 被引量：2
12
作者 李梓进 王维燕 +2 位作者 李红江 黄金华 徐清 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第21期21061-21071,共11页
太阳电池要成为常规能源需不断提高光电转换效率、降低电池成本。叠层太阳电池采用不同禁带宽度的材料吸收太阳光,可减少高于带隙的高能量太阳光的热化损失,以及低于带隙的低能量太阳光不能被吸收的损失,提高电池光电转换效率。近几年,... 太阳电池要成为常规能源需不断提高光电转换效率、降低电池成本。叠层太阳电池采用不同禁带宽度的材料吸收太阳光,可减少高于带隙的高能量太阳光的热化损失,以及低于带隙的低能量太阳光不能被吸收的损失,提高电池光电转换效率。近几年,钙钛矿/晶硅叠层太阳电池因具有带隙匹配、光电转换效率高、工艺简单等特性,成为新兴的研究热点。经过近五年的发展,钙钛矿/晶硅叠层太阳电池的光电转换效率已被快速提升至28%。要实现高效的钙钛矿/晶硅叠层太阳电池,关键材料与结构的发展必不可少。钙钛矿/晶硅叠层电池主要包括四端和两端结构。其中两端叠层电池,因仅需要一个透明电极,有利于减少寄生吸收、降低成本,成为主流钙钛矿/晶硅叠层电池结构。除了结构改进外,开发高质量的关键材料对高效叠层电池也十分重要。首先,钙钛矿顶电池的金属电极需要替换成透明电极,使得透过顶电池的太阳光能被底电池吸收。目前主流的体系为透明导电氧化物。其次,钙钛矿顶电池的理想带隙为1.7~1.8 eV,因此需要开发高质量的宽带隙钙钛矿电池,以实现开路电压的增益。最后,两端叠层电池的中间界面层起复合载流子和调控光传输的双重作用,需要探寻具有优异光电特性的界面层材料。目前主流的中间界面层体系包括氧化铟锡、掺杂纳米硅以及含纳米硅的氧化硅薄膜等。虽然通过关键材料和结构的发展,叠层电池光电转换效率已经达到28%,但距43%的极限效率还有一定的差距,需进一步提高叠层电池的短路电流密度、开路电压等光伏特性参数。为提高叠层电池的短路电流密度,需降低载流子传输层、透明电极、中间界面层的寄生吸收损失,同时通过绒面结构、减反层、折射率匹配的界面层等光管理手段降低界面的反射损失。提高叠层电池开路电压的关键是提高宽带隙钙钛矿电池的开路电压。通过上述光电管理协同作用,叠层电池光电转换效率有望突破30%。本文以钙钛矿/晶硅叠层太阳电池性能发展为主线,首先简要介绍了叠层电池的结构及光电性能发展历史;然后介绍叠层电池的关键材料,重点包括透明电极、中间界面层、宽带隙钙钛矿电池;在此基础上,分析叠层电池光电转换效率制约因素及提升途径;最后对叠层电池的高效化、大面积、稳定性的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 钙钛矿/晶硅叠层太阳电池 透明电极 中间界面层 宽带隙钙钛矿电池 光管理
在线阅读 下载PDF
硅材料研究进展:从微电子到光伏和光电子
13
作者 杨德仁 《国际学术动态》 2003年第1期19-20,共2页
硅材料基础上微电子工业的崛起,对本世纪世界经济和科技的高速发展起了决定性的作用。微电子已成为国民经济的支柱产业,在国家经济、国防和科技的现代化上起着举足轻重的作用。毫无疑问,硅材料作为最重要的半导体材料,是微电子的基础材... 硅材料基础上微电子工业的崛起,对本世纪世界经济和科技的高速发展起了决定性的作用。微电子已成为国民经济的支柱产业,在国家经济、国防和科技的现代化上起着举足轻重的作用。毫无疑问,硅材料作为最重要的半导体材料,是微电子的基础材料,在过去的四十年,硅材料的发展直接促进了集成电路和整个微电子产业的进步。同时,硅材料还是太阳能光电转换(光电池)的主要材料,并且在今后的光电子领域,也会起到重要作用。因此,硅材料的研究是国际学术界关注的焦点之一。本次中德双边会议由浙江大学硅材料国家重点实验室承办,由中德科学中心资助。 展开更多
关键词 硅材料 微电子 光伏 光电子 集成电路 电学性能
在线阅读 下载PDF
硅、锗材料在Si(100)表面的生长研究 被引量：3
14
作者 汪雷 唐景昌 +2 位作者 杨德仁 王学森 胡艳芳 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期104-106,111,共4页
利用扫描隧道显微镜和超高真空实验装置系统进行了Si(10 0 )表面生长Si,Ge的实验研究。分析了所生成表面的形貌、结构等物理性质。研究表明 :Si在Si(10 0 )表面的同质生长可以形成纳米结构薄膜。Ge在Si(10 0 )表面生长形成规则的三维小... 利用扫描隧道显微镜和超高真空实验装置系统进行了Si(10 0 )表面生长Si,Ge的实验研究。分析了所生成表面的形貌、结构等物理性质。研究表明 :Si在Si(10 0 )表面的同质生长可以形成纳米结构薄膜。Ge在Si(10 0 )表面生长形成规则的三维小岛。而在Si/Ge/Si(10 0 )多层膜上生长则形成大小二种三维岛。 展开更多
关键词 锗 硅 扫描隧道显微镜 半导体材料 表面生长 半导体薄膜 结构
在线阅读 下载PDF
原位反应纳米TiB_2/Cu复合材料的制备和微结构 被引量：28
15
作者 王耐艳 涂江平 +5 位作者 杨友志 齐卫笑 刘芙 张孝彬 卢焕明 刘茂森 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期151-154,共4页
利用原位反应技术 ,通过控制反应物B2 O3 和石墨的含量制备了原位生长纳米TiB2 增强Cu基复合材料。用XRD ,EDS ,TEM对TiB2 /Cu原位复合材料进行微结构分析 ,研究表明铜基体中弥散分布着 5 0nm的TiB2颗粒 ,并对Cu基体有良好的增强作用。
关键词 原位反应 硼化钛 铜基复合材料 制备 微结构 纳米材料
在线阅读 下载PDF
多壁纳米碳管/Cu基复合材料的摩擦磨损特性 被引量：42
16
作者 王浪云 涂江平 +3 位作者 杨友志 张孝彬 陈卫祥 卢焕明 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期367-371,共5页
利用销盘式磨损试验机研究了粉末冶金法制备的多壁纳米碳管 /Cu基复合材料的稳态摩擦磨损行为 ,并用扫描电镜分析了复合材料的磨损形貌。结果表明 :多壁纳米碳管 /Cu基复合材料具有较小的摩擦系数 ,并随纳米碳管质量分数的增加而逐渐降... 利用销盘式磨损试验机研究了粉末冶金法制备的多壁纳米碳管 /Cu基复合材料的稳态摩擦磨损行为 ,并用扫描电镜分析了复合材料的磨损形貌。结果表明 :多壁纳米碳管 /Cu基复合材料具有较小的摩擦系数 ,并随纳米碳管质量分数的增加而逐渐降低 ;由于复合材料中纳米碳管的增强和减摩作用 ,在低载荷和中等载荷作用下 ,随着纳米碳管质量分数的增加 ,复合材料的磨损率减小 ;而在高载荷作用下 ,由于发生表面开裂和片状层剥落 ,含纳米碳管质量分数高的复合材料的磨损率增高。 展开更多
关键词 多壁纳米碳管 金属基复合材料 摩擦系数 磨损率
在线阅读 下载PDF
一种生物无机材料—石质古迹上天然草酸钙保护膜的研究 被引量：24
17
作者 张秉坚 尹海燕 +2 位作者 陈德余 沈忠悦 卢唤明 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期752-756,共5页
酸雨是侵蚀我国大部分地区石质文物的主要威胁之一．近几十年来，室外的许多碳 酸岩石刻和石雕都因此受到了不同程度的破坏．但是，在许多石质古迹上偶尔可以看到某些部 位的石刻文字至今保持完好，仔细观察发现其表面有一层天然形成的... 酸雨是侵蚀我国大部分地区石质文物的主要威胁之一．近几十年来，室外的许多碳 酸岩石刻和石雕都因此受到了不同程度的破坏．但是，在许多石质古迹上偶尔可以看到某些部 位的石刻文字至今保持完好，仔细观察发现其表面有一层天然形成的保护膜．本工作对这种膜 的样品分别进行了ＦＴＩＲ、ＰＬＭ、ＥＤＡＸ、ＳＥＭ和ＴＥＭ分析，结果表明这是一种以草酸 钙为主要成分的致密的生物无机膜．本文简要讨论了这种膜的分析结果和形成机理． 展开更多
关键词 石质文物 文物保护 生物无机膜 草酸钙 表面处理 防护材料
在线阅读 下载PDF
碳包覆镍掺杂LiFePO_4正极材料的合成与电化学性能 被引量：17
18
作者 庄大高 赵新兵 +3 位作者 谢健 曹高劭 涂健 涂江平 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期149-152,共4页
采用水热法在160℃下合成了单相橄榄石结构的LiFePO4和LiFe0.95Ni0.05PO4。经550℃聚丙稀裂解碳包覆后得到LiFePO4/C的颗粒尺寸在200nm左右,碳包覆镍掺杂LiFe0.95Ni0.05PO4/C的颗粒尺寸在100nm以下。电化学测试结果表明:LiFePO4/C和LiFe... 采用水热法在160℃下合成了单相橄榄石结构的LiFePO4和LiFe0.95Ni0.05PO4。经550℃聚丙稀裂解碳包覆后得到LiFePO4/C的颗粒尺寸在200nm左右,碳包覆镍掺杂LiFe0.95Ni0.05PO4/C的颗粒尺寸在100nm以下。电化学测试结果表明:LiFePO4/C和LiFe0.95Ni0.05PO4/C的0.1C首次充放电可逆容量分别达到154mAh?g?1和149mAh?g?1,但掺镍的LiFe0.95Ni0.05PO4/C具有更优异的大电流充放电循环特性,0.5C和1C充放电100次后的放电容量分别达到147mAh?g?1和134mAh?g?1。 展开更多
关键词 水热合成 LIFEPO4 Ni掺杂 锂离子电池 正极材料
在线阅读 下载PDF
PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究 被引量：43
19
作者 王晓泉 汪雷 +3 位作者 席珍强 徐进 崔灿 杨德仁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期341-344,共4页
使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌... 使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌,使用傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)和能谱仪(EDX)分析了薄膜的化学结构和成分。最后,考察了薄膜在经过快速热处理过程后的热稳定性,并利用霍尔参数测试仪(Hall)比较了薄膜沉积前后载流子迁移率的变化。 展开更多
关键词 太阳电池 PECVD 氮化硅
在线阅读 下载PDF
单晶硅太阳电池的表面织构化 被引量：27
20
作者 席珍强 杨德仁 +6 位作者 吴丹 张辉 陈君 李先杭 黄笑容 蒋敏 阙端麟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期285-289,共5页
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也... 一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。 展开更多
关键词 单晶硅 织构 磷酸钠 腐蚀
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 43 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部