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硅的准分子激光直写刻蚀微细加工特性研究 被引量：3
1
作者 苑伟政 马炳和 +3 位作者 李晓莹 李铁军 王丽戈 刘晶儒 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期107-110,共4页
针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求，在试验研究基础上，讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性，得出了加工脉冲数、能量与刻蚀深度间的相互关系。
关键词 准分子激光 硅微细加工 直写刻蚀加工
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电流变液微致动研究
2
作者 李晓莹 胡晓江 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A11期134-135,138,共3页
利用电流变液体阻尼阀效应设计了原型电流变柔性微致动器，建立了相应的力学模型，进行了性微致动过程实验研究和三维致动过程的计算机图形仿真，并对电流变柔性微致动过程的位移，速度和加速度等运动学和动力学特征进行了分析研究。
关键词 微机械 电流变体 柔性微致动器 电流变液 微致动
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基于MEMS的微型飞机(MAV)关键技术 被引量：4
3
作者 苑伟政 马炳和 毛竹群 《航空精密制造技术》 2000年第3期1-6,共6页
从微型飞机的概念出发．对基于MEMS的微型飞机及其相应的能源系统，动力系统，空气动力学特性，导航系统以及有效负载，部件的集成等关键技术及可行性做了较详细的讨论．并提出了相关问题的解决方法和系统结构的初步设计方案．
关键词 微型飞机 微型机电系统 关键技术
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基于光切法的微结构三维尺寸测量
4
作者 李晓莹 马炳和 苑伟政 《航空精密制造技术》 1998年第5期40-42,共3页
针对微机械结构加工特点及其对相应测量技术所提出的特殊要求，运用光切法对三维微结构尺寸测量（尤其是高度尺寸）进行了实验研究和理论分析，阐明了其可行性与潜在优势。
关键词 微结构 三维尺寸测量 光切法
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