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“角度基准”中系统误差的修正杨进堂(中国科学院长春光学精密机械研究所 被引量：5
1
作者 杨进堂 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第1期142-146,共5页
“圆光栅用于角度基准的研究”（角度基准）为国家提供了一台光、机、电、计算机相结合的仪器，它加工装调精细，又采用了许多高新技术，为高精度测角奠定了坚实基础。使用计算机误差修正技术，又进一步提高了仪器的测角精度。本文在分... “圆光栅用于角度基准的研究”（角度基准）为国家提供了一台光、机、电、计算机相结合的仪器，它加工装调精细，又采用了许多高新技术，为高精度测角奠定了坚实基础。使用计算机误差修正技术，又进一步提高了仪器的测角精度。本文在分析了分度基准和细分器产生系统误差的根源之后。 展开更多
关键词 角度基准 圆光栅 系统误差修正 光栅计量
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微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究 被引量：5
2
作者 张二星 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期48-52,共5页
微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术，并对仪器的精度进行了分析。
关键词 微型机械 动态特性 光学机械系统 运动参数
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准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 被引量：6
3
作者 梁静秋 姚劲松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期63-66,共4页
准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理，探索了这种技术的工艺方法和技术条件，特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深... 准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理，探索了这种技术的工艺方法和技术条件，特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。本文采用简易的实验装置，用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验，得到了５０μｍ 深的聚合物材料微机械构件。 展开更多
关键词 准分子激光 直接刻蚀 微机械 激光刻蚀
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微型机械研究的现状及展望 被引量：3
4
作者 王立鼎 崔天宏 吕琼莹 《科技导报》 CAS CSCD 1993年第12期42-45,共4页
微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。
关键词 机械 微型机械 进展
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大视场光电测量系统的精密几何标定和畸变校正的研究 被引量：22
5
作者 刘金国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第4期109-120,共12页
本文研究在大机场精密光电测量系统中最为关键的测量精度问题。深入地讨论了这种大视场光电测量系统的高精度几何标定方法，重点探讨了利用计算机通过解析方法补偿光学系统几何畸变的途径，以期达到在光学系统精度较低的情况下测量系统... 本文研究在大机场精密光电测量系统中最为关键的测量精度问题。深入地讨论了这种大视场光电测量系统的高精度几何标定方法，重点探讨了利用计算机通过解析方法补偿光学系统几何畸变的途径，以期达到在光学系统精度较低的情况下测量系统也可以进行高精度测量的目的。为了达到上述目的，主要研究了以下几个问题：分析了摄影测量的基本原理，提出相机标定和畸变校正问题；建立适合于相机标定和畸变校正的数学模型；研究了对相机进行精密标定的方法和手段；研究了标定数据的分析处理方法；进行计算机仿真实验，分析实验结果。 展开更多
关键词 畸变 校正 摄影测量 摄影机 标定 光电测量系统
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光学系统杂光黑斑测量的理论研究 被引量：3
6
作者 张国玉 李风春 高玉军 《光学技术》 CAS CSCD 1997年第2期35-38,共4页
根据线性空间不变系统理论和标量衍射理论，用杂光点扩散函数讨论了在光学系统中多次反射和衍射所产生的杂光分布。在此基础上，用物和接收器互相关函数系统地分析了黑斑尺寸。
关键词 杂光 黑斑 点扩散函数 光学系统
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微机械中超声微电机的研究 被引量：1
7
作者 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期275-278,共4页
作为微机械的动力源，超声微电机具有诸多优良性能，一直是微机械研究的热点技术之一。首先，本文类比了几种微机械意义上的微电机，指出了超声微电机的独特优点，提出了研究超声微电机的重大意义。接着，作者运用粗糙度理论，对广义瑞... 作为微机械的动力源，超声微电机具有诸多优良性能，一直是微机械研究的热点技术之一。首先，本文类比了几种微机械意义上的微电机，指出了超声微电机的独特优点，提出了研究超声微电机的重大意义。接着，作者运用粗糙度理论，对广义瑞利波理论进行修正，得出超声微电机较精确的转速数学模型。最后，作者指出超声微电机进一步实用化后的广阔应用前景。 展开更多
关键词 超声微电机 微机械 广义瑞利波 电磁微电机 应力场 数学模型 转子 优化设计 应用前景 模拟仿真
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压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究 被引量：6
8
作者 荆涛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第4期64-68,共5页
以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动，另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪。
关键词 误差补偿 压电陶瓷 微量位移 精密工件台 导轨
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舰载精密光学系统扰动速度的自稳定控制 被引量：6
9
作者 郭丽虹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第3期71-74,共4页
介绍了具有惯性导航系统的大型舰艇上前馈控制的自稳定方法。分析船摇产生扰动速度，给出因船摇在方位和俯仰方向产生的附加速度及试验结果；并与速率陀螺自稳定方法进行了对比。
关键词 自稳定 扰动速度 惯性导航 船载光学系统
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混沌光学系统之快速神经网络自适应控制研究 被引量：2
10
作者 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第1期22-27,共6页
提出一种用于光动力学系统控制之快速神经网络自适应控制技术。该技术以一前向神经网络作为光动力学系统之系统辨识器，由其与光动力学系统之输出差值对系统控制参数进行调整以达到控制目的，由于神经网络系统辨识器在混沌加速ＢＰ算法... 提出一种用于光动力学系统控制之快速神经网络自适应控制技术。该技术以一前向神经网络作为光动力学系统之系统辨识器，由其与光动力学系统之输出差值对系统控制参数进行调整以达到控制目的，由于神经网络系统辨识器在混沌加速ＢＰ算法的支持下可从光动力学系统输出时间序列进行快速动力学模型重构，因而此控制技术特别适用于对未知动力学表述的光动力学系统进行快速控制。 展开更多
关键词 混沌 光动力学系统 神经网络 自适应控制
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双维精密定位工件台数控系统的研究 被引量：1
11
作者 李树秋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第4期93-100,共8页
Ｘ－Ｙ两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统，其数控系统是以８０３１单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上，设计了数控系统的硬件，用ＴｕｒｂｏＣ、８０８８汇编语言及Ｍｃｓ５１... Ｘ－Ｙ两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统，其数控系统是以８０３１单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上，设计了数控系统的硬件，用ＴｕｒｂｏＣ、８０８８汇编语言及Ｍｃｓ５１汇编语言编制了相应的软件，采用细分方法提高了系统的分辨率，并对如何提高系统精度做了详细的讨论。结果表明。 展开更多
关键词 数控系统 细分 工件台 精密定位 光栅干涉仪
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典型光学系统总体研究及结构分析 被引量：1
12
作者 田铁印 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第4期15-19,共5页
较系统地研究了各典型系统的光学总体问题，详细分析了光学通道中各个环节的能量及信息的传递特性。采用并推导了作者认为较合理的公式及计算方法，编制了确定光学系统总体参数的软件，同时探讨了光学系统组元间的最佳匹配问题。
关键词 光学总体 光学系统 结构分析 光学仪器
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基于微机械工艺的平面微电机的研究 被引量：2
13
作者 郭占社 吴一辉 +1 位作者 张平 梁静秋 《微细加工技术》 2003年第2期64-68,75,共6页
为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的... 为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式,线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。 展开更多
关键词 平面微电机 转子 定子 微机械工艺 LIGA
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修正精密仪器总误差方法的研究 被引量：4
14
作者 付永启 朱应时 《计量技术》 1996年第1期36-38,共3页
本文以误差理论为基础，结合时间序列分析法，建立起包括系统误差和随机误差的精密以器总误差数学模型，用此模型对仪器总误差进行实时修正。实践表明，该方法可大大提高仪器的原有准确度。
关键词 精密仪器 时序分析 总误差修正 误差修正
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精密谐波齿轮传动误差平均机理的研究 被引量：4
15
作者 辛洪兵 《长春光学精密机械学院学报》 1997年第1期38-40,共3页
本文利用随机过程理论，推导出谐波齿轮传动衰差的平均因子，作为实例，对一谐波齿轮传动装置传动误差的实测结果与理论预测值相当接近。
关键词 平均效应 平均因子 谐波齿轮传动 传动误差
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薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)
16
作者 付永启 赵晶丽 +2 位作者 李吉学 张新 郑宣明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期67-72,共6页
应用光刻和薄膜沉积技术，制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法，并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。
关键词 照相制版 薄膜沉积 多级衍射 光学元件 误差标定
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柱面图形光学刻划的研究
17
作者 付永启 赵兴国 赵晶丽 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期97-99,共3页
柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题，本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法。
关键词 柱面图形 光学刻划 柱面涂胶 刻划间隙
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军用光学仪器环境适应性设计 CAD/CAE 应用方法的研究
18
作者 赵鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第6期16-20,共5页
探讨了在军用光学仪器研制过程中，采用计算机模拟的形式，利用ＣＡＤ／ＣＡＥ技术，进行性能指标和环境适应性指标优化设计的方法；讨论了该方法在军用光学仪器生产、研制中所起的作用，并以实例说明该方法的应用价值及广阔的应用前景。
关键词 CAD/CAE 军用 光学仪器 环境适应性
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一种精密X-Y扫描台的研究
19
作者 张二星 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期89-92,共4页
探讨了一种精密的Ｘ－Ｙ扫描工作台，论证其主要技术指标，介绍其结构特点，同时也进行理论分析，最后讨论其应用。
关键词 X-Y扫描台 图像处理系统 光学仪器
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需要大力发展机械科学研究
20
作者 张作梅 《自然辩证法通讯》 1981年第5期1-2,共2页
我国机械工业面临着“吃不饱”和“吃不了”的问题。现有八个机械工业部,摊子很大,但能力并没有充分发挥。其原因主要是技术水平上不去,基础不牢固。机械产品的使用价值很差,在国际市场上没有竞争能力。在文化大革命期间,不论在科学院... 我国机械工业面临着“吃不饱”和“吃不了”的问题。现有八个机械工业部,摊子很大,但能力并没有充分发挥。其原因主要是技术水平上不去,基础不牢固。机械产品的使用价值很差,在国际市场上没有竞争能力。在文化大革命期间,不论在科学院、高等院校和产业部门的机械科学研究机构被破坏得都很严重。打倒“四人帮”以后,虽然做了一些恢复工作,但是进展还是很慢的,完全不能适应目前形势发展的需要。 展开更多
关键词 精密机械 机械产品 使用价值 高等院校 机械工业部 文化大革命 国际市场 机械设计 中国科学院 科学研究机构
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